(5) Периферийное травление
( солнечная панель): диффузионный слой, образующийся на периферийной поверхности кремниевой пластины в процессе диффузии, закоротит верхний и нижний электроды батареи. Периферический диффузионный слой должен быть удален маскирующим влажным травлением или сухим плазменным травлением.
(6) Снимите заднюю часть PN + соединение
(солнечная панель). Метод влажного травления или шлифовки обычно используется для удаления заднего соединения PN +.
(7) Изготовление верхнего и нижнего электродов
(солнечная панель): используются вакуумное напыление, химическое никелирование или печать алюминиевой пастой и спекание. Сначала изготавливается нижний электрод, а затем верхний электрод. Печать алюминиевой пастой является широко используемым технологическим методом.
(8) Изготовление антибликовой пленки
(солнечная панель): чтобы уменьшить входные потери на отражение, на поверхность кремниевой пластины должен быть нанесен слой просветляющей пленки. Материалы для изготовления просветляющей пленки включают MgF2, SiO2, Al2O3, SiO, Si3N4, TiO2, Ta2O5 и т. д. Технологические методы могут быть методом вакуумного покрытия, методом ионного покрытия, методом напыления, методом печати, методом PECVD или методом распыления.
(9) Спекание: чип батареи спекается на базовой пластине из никеля или меди.
(10) Классификация испытаний: классификация испытаний в соответствии с указанными параметрами и спецификациями.